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MEMS与微系统
课程类型:选修课
发布时间:2023-07-17 11:21:05
主讲教师:王喆垚
课程来源:清华大学
建议学分:3.00分
课程编码:xtzx1035
第一章 概述
第二章 微系统基本理论—基础力学与基本物理
第三章 微系统制造技术II—表面微加工技术
第三章 微系统制造技术III—键合
第三章 微系统制造技术IV—集成与封装
第四章 微型传感器I—传感器的敏感机理 排序:7 新增节 编辑 删除 名称 视频 作业
第八章 微流体与芯片实验室